一般情況下，干熱滅菌器腔室內的壓力略高于其相臨的非無菌區而略低于其相臨的無菌區。百級凈化干熱滅菌柜中連鎖控制系統設有：門連鎖控制系統，溫度傳感、控制、停止傳送帶運行的連鎖控制裝置等，以保證在任何情況下出現溫度低于設計要求時防止滅菌物品在低于滅菌溫度的情況下通過滅菌器。

　　加熱器：是干熱滅菌設備的主要組成部分，對滅菌效果的好壞影響極大。加熱器故障是造成干熱滅菌設備滅菌效果下降的主要原因之一，其主要表現為升溫速度下降；影響熱分布；產生塵埃物質。而造成加熱器故障的原因，主要是加熱器的長期使用或通過加熱器的空氣質量較差所致。

　　過濾器：在干熱滅菌設備中，進風應通過過濾器；除去內部空氣循環系統中產生的塵埃物質需要過濾器；防止排風倒流的污染也可裝過濾器。所以過濾器必須滿足干熱滅菌工藝用風量的要求，并能承受相應的風壓。

　　風機：對干熱滅菌器中的氣流循環影響很大，風機的風量應該可以測量，并可調整，必要時可以要求供應商將此項要求增加到其設備標準中，因為風機風量的測量指示值，可以為設備使用過程中檢查風機狀態提供依據。

　　溫度控制器及記錄儀：在干熱滅菌系統中，溫度探測、傳感、控制、記錄系統是整個滅菌過程控制的基礎，其控制系統必須能保證滅菌器腔室內滅菌溫度可以保持在設定的滅菌溫度范圍內，其記錄系統必須將溫度探測、傳感系統的溫度讀數準確無誤地記錄清楚。

　　緩沖板、風閥、氣流調節器或空氣檔板：緩沖板或空氣檔板用于控制百級凈化干熱滅菌柜的空氣流量，多安裝于進風或排風風管或加熱器附近，用于正壓控制的氣流調節器可以安裝排風系統中的防止倒流風污染的過濾器附近，通過控制排風量控制正壓，也可以用氣流調節器控制進風和排風風量以保持正壓。